שאלות ותשובות על נכס מפתח האם HMDS דליק?כן - HMDS מסווג כדליק מאוד (נקודת הבזק 17 מעלות). אחסן וטפל הרחק מכל מקורות ההצתה במתקנים חסיני פיצוץ-. |האם HMDS מסיס במים?אין - HMDS מגיב עם מים ואוויר לח, תוך הידרוליזה להקסמתיל-דיסילוקסן (HMDSO) ואמוניה. כל הציונים חייבים להישמר ללא מים לחלוטין. |מהי נוסחת HMDS?C₆H₁₉NSi₂, נוסחת מבנה (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃, MW 161.39 גרם/מול. |האם HMDS רעיל?HMDS מזיק על ידי שאיפה, מגע עם עור ובליעה. זה מסווג כרעיל בצורה חריפה (קטגוריה 4 על ידי GHS). SDS/MSDS מלא זמין על פי בקשה. |מהו ה-HMDS pKa?ה-pKa של החומצה המצומדת (HMDS·H⁺) הוא כ-30 ב-THF, מה שהופך את HMDS לבסיס חזק בינוני בשימוש נרחב בסינתזה אורגנית ליצירת אנולטים ותגובות דפרוטונציה.

מִפרָט	כיתה תעשייתית טיפול פני השטח / חומרי מילוי	כיתה פרמצבטית סינתזת תרופות (GMP)	כיתה אלקטרונית ליטוגרפיה מוליכים למחצה
טוהר (GC)	גדול או שווה ל-98.0%	גדול או שווה ל-99.5%	גדול או שווה ל-99.999% (5N) עד 6N עבור צמתים מתקדמים
תוכן מים	פחות או שווה ל-0.1%	פחות או שווה ל-0.02%	פחות או שווה ל-0.005% (פחות או שווה ל-50 עמודים לדקה)
צבע (Pt-Co)	פחות או שווה ל-30	פחות או שווה ל-10	פחות או שווה ל-5
נקודת רתיחה	125-127 מעלות	126.0-126.5 מעלות	126.2 ± 0.2 מעלות
נקודת הבזק	17 מעלות (כוס סגורה)	17 מעלות (כוס סגורה)	17 מעלות (כוס סגורה)
זיהומי מתכת	לא צוין	יון בודד פחות או שווה ל-10 ppm	יון בודד פחות או שווה ל-1 ppb (רמת ppt עבור צמתים של 14 ננומטר)
חיי מדף	6 חודשים (N₂-אטום)	12 חודשים (N₂-אטום, כהה)	18 חודשים (אולטרה-נקי N₂-אטום)
אריזה	תוף פלדה 180 ק"ג תיק IBC במשקל 1000 ק"ג	תוף HDPE 20L תוף פלדה אטום 200L N₂-	10 ליטר קוורץ-תוף מרופד תוף פלדה נקי במיוחד בנפח 200L{{1}

1. ליתוגרפיה מוליכים למחצה - מקדם הדבקה של Photoresist

HMDS הוא התקן-תעשייתימקדם הידבקות, פריימר וחומר ציפוי הידרופוביבליטוגרפיה של פרוסות סיליקון, מהווים מעל40% מסך צריכת ה-HMDS. מיושם כפריימר פאזה אדים (VPP) לפני ציפוי פוטו-רזיסט, HMDS מגיב עם קבוצות הידרוקסיל פני השטח (Si-OH) על גבי הפרוסה ליצירת שכבת טרימתילסיליל הידרופוביה צפופה. זה משפר באופן דרמטי את הדבקת פוטו-רזיסט, מונע קילוף התנגדות במהלך הפיתוח, ומבטל היווצרות חרוזי קצה - מה שמבטיח דפוס מעגל עדין מדויק עדצמתים של 28 ננומטר ומטה.

ככל שצמתי מוליכים למחצה מתקדמים מתקדמים ל-14 ננומטר, 7 ננומטר ומעבר לכך, דרישות הטוהר הסלימו ל-ציונים 5N (99.999%) ו-6N, עם זיהומי מתכת נשלטים ברמת ppb–ppt. מוצרי ה-HMDS האלקטרוניים שלנו משתמשים בטכנולוגיה מתקדמת להסרת מתכות עקבות, העומדות בתקני ההסמכה של יצרנים מובילים, כולל SMIC, Yangtze Memory, Changxin Memory ו-UMC.

הַפנָיָה:תקני SEMI - טוהר חומרים מוליכים למחצה ↗

2. תעשיית התרופות - חומר סיליציה לסינתזת תרופות

בסינתזה פרמצבטית, HMDS נמצא בשימוש נרחב בתור אחומר סיליציהכדי להגן על קבוצות פרוטיות תגובתיות (-OH, -NH₂, -COOH) בתוצרי ביניים של תרופות, מניעת תגובות לוואי לא רצויות ושיפור משמעותי של סלקטיביות תגובה ותפוקת מוצר יעד. זהו מגיב מרכזי בסינתזה של רכיבים פרמצבטיים פעילים אנטי-אנטי-ויראליים ואנטי-אלרגיים (API).

HMDS בדרגה-תרופתית שלנו (יותר מ-99.5% טוהר או שווה ל-99.5%, תואם GMP-) אומתה על ידי ארגוני CDMO פרמצבטיים מובילים ומספקת איכות אצווה יציבה החיונית למחקר ופיתוח תרופות ולייצור-בקנה מידה גדול.

הַפנָיָה:Pharmacopeia של ארצות הברית (USP) ↗

3. חומרים וטיפול משטח - סוכן הידרופוביזציה

HMDS הוא יעיל ביותרסוכן הידרופוביזציהלחומרי מילוי אנאורגניים כגון סיליקה מעוטרת וטיטניום דו חמצני. שינוי פני השטח עם HMDS משפר באופן משמעותי את תאימות חומרי המילוי למטריצה ​​ברכיבים מרוכבים של גומי סיליקון ושרף אפוקסי, משפר את התכונות המכניות (קשיחות, חוזק מתיחה) ועמידות בפני מזג אוויר. הוא נמצא בשימוש נרחב בחומרי עטיפה של OLED ובטיפול בזכוכית מודול פוטו-וולטאי, כאשר משטחי HMDS-מתוונים מראים ביצועי מחסום לחות משופרים באופן ניכר, ומאריכים את חיי השירות בסביבות חיצוניות קשות.

עֲבוּרטיפול במשטח זכוכית, קרמיקה ומתכת, HMDS יוצר סרט הידרופובי צפוף ומלוכד קוולנטי המונע ספיגת לחות וקורוזיה.

הַפנָיָה:PubChem - Hexamethyldisilazane (NIH) ↗

4. כימיה אנליטית וכימיקלים עדינים

בכימיה אנליטית, HMDS משמש כמגיב לנגזרתלניתוח GC של תרכובות פרוטיות (אלכוהולים, פנולים, חומצות קרבוקסיליות). נגזרות סיליליות מציגות תנודתיות גבוהה יותר והפרדה כרומטוגרפית משופרת, המאפשרות ניתוח כמותי מדויק של חומרי קורט במטריצות מורכבות.

בכימיקלים עדינים, HMDS משמש כחומר ביניים עבור-חומרי שטח פעילי סיליקון גבוהים ושרף סיליקון המשמשים בכימיקלים יומיומיים והדפסת טקסטיל. שוק ה-HMDS האלקטרוני- צפוי לצמוח ב-CAGR של 18.3% עד 2026, מונע מהאצת לוקליזציה של מוליכים למחצה והרחבת קיבולת CDMO פרמצבטית.

הַפנָיָה:רישום ECHA REACH - HMDS ↗

5. HMDS כבסיס - LiHMDS, NaHMDS & KHMDS

מעבר לתפקידו כחומר סיליציה, HMDS הוא מבשר מפתח לבסיסי המתכת האמיד הנפוצים בשימוש:LiHMDS(ליתיום hexamethyldisilazide, ליתיום ביס(trimethylsilyl)amide),NaHMDS(נתרן hexamethyldisilazide), וKHMDS(אשלגן hexamethyldisilazide). הבסיסים החזקים והמעוכבים הללו הם ריאגנטים חיוניים בסינתזה פרמצבטית וכימית עדינה ליצירת אנולאטים סלקטיביים, דה-פרוטונציה מכוונת ותגובות א-סימטריות שבהן תפזורת סטרית וכימוסלקטיביות הן קריטיות.

LiHMDS(CAS 4039-32-1) הוא הנפוץ ביותר, מוערך בזכות הבסיסיות הגבוהה שלו (pKa ~30 ב-THF) והמסיסות המצוינת בממיסים אתריים.NaHMDSוKHMDSמציעים תגובתיות גוברת ומשמשים כאשר LiHMDS אינו מספיק תגובתי. שלושתם מיוצרים מ-HMDS כחומר המוצא העיקרי, מה שהופך את אספקת ה-HMDS בטוהר- גבוה קריטי לייצור שלהם.

אנו מספקים HMDS בטוהר- גבוה המתאים כחומר הזנה לייצור LiHMDS, NaHMDS ו-KHMDS. צור איתנו קשר למפרטים בתפזורת.

⚠️ הערת בטיחות קריטית:HMDS הואדליק ביותר(נקודת הבזק 17 מעלות) ומגיב באלימות עם מים, משחרר אמוניה. אחסן וטפל אך ורק בסביבות-מוגנות חנקן, חסינות פיצוץ-. אין להשתמש במים לכיבוי שריפות HMDS.

טיפים לתמחור בכמות גדולה:הזמנות מעל 50 MT זכאיות בדרך כלל להנחה של 5-10%; 200+ חוזי MT לשנה יכולים לאפשר חיסכון של 10-15%. משלוח משאית טנק מפחית לכל-משלוח ב-8-12% לעומת אריזת תוף. הסכמים לטווח ארוך-(1-3 שנים) כוללים הקצאת אספקה ​​עדיפות בעונות שיא של ביקוש מוליכים למחצה.בקש הצעת מחיר HMDS מותאמת אישית →

ש: מה מייצג HMDS? מהו הצורה המלאה של HMDS?

HMDS מייצגHexamethyldisilazane- השם הכימי המלא הוא 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane, כתוב גם כ-hexa methyl disilazane. בכימיה, HMDS מתייחס ספציפית לתרכובת אורגנוסיליקון זו (CAS 999-97-3) עם המבנה (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. הערה: "HMDS" משמש גם כקיצור בתחומים לא קשורים (למשל, בהקשרים רפואיים, צבאיים או חקלאיים), אבל בהקשרים של כימיה וייצור מוליכים למחצה, HMDS פירושו תמיד הקסמתיל-דיסילאזאן.

ש: למה משמש HMDS בייצור מוליכים למחצה?

HMDS משמש כמקדם הדבקה-בשלב (פריימר) המוחל על משטחי פרוסות סיליקון לפני ציפוי פוטו-רזיסט. הוא מגיב עם קבוצות Si-OH על פני השטח ליצירת מונו-שכבת טרימתיל-סיליל הידרופובי, המשפרת באופן דרמטי את הידבקות פוטו-רזיסט, מונעת דלמינציה במהלך פיתוח רטוב, ומבטיחה דיוק ממדי של דפוסי מעגלים עדינים. זהו חומר תהליך סטנדרטי כמעט בכל ייצור פרוסות סיליקון ברחבי העולם, החל מקווי ליטוגרפיה של 200 מ"מ מדור קודם ועד לקווי ליטוגרפיה מובילים בגודל 300 מ"מ של EUV.

ש: מה ההבדל בין HMDS בדרגה תעשייתית לבין HMDS בדרגה אלקטרונית?

כיתה תעשייתית (מעל או שווה ל-98.0%) מתאימה לטיפול פני השטח של חומרי מילוי (סיליקה מבוזה, TiO₂), ציפויים ויישומי סיליציה כלליים שבהם תכולת מתכת עקבות אינה קריטית. דרגת אלקטרונית (שווה או גדולה ל-99.999%, 5N) דורשת זיהומים מתכתיים בודדים מתחת ל-1 ppb - חובה עבור ליטוגרפיה מוליכים למחצה, כאשר זיהום מתכתי תת--ppb יגרום לכשלים במכשיר. Electronic Grade ארוז בתנאים אולטרה-נקיים ISO 14644 בתופי פלדה-מרופדים בקוורץ-אולטרה נקיים, כאשר כל אצווה מלווה בדוח מתכות קורט של ICP-MS מלא.

ש: מדוע HMDS מגיב עם מים, וכיצד יש לאחסן אותו?

HMDS מכיל קשר Si–N–Si הרגיש מאוד להידרוליזה: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH + NH₃. האמוניה המשתחררת יוצרת הצטברות לחץ במיכלים אטומים, וההקסמתיל-דיסילוקסן (HMDSO) שנוצר מזהם את המוצר. לכן יש לאחסן את כל הציונים מתחת לחנקן יבש במיכלים אטומים, בטמפרטורה של 0-25 מעלות, הרחק מכל מקור לחות. יש לאטום מחדש-מכלים פתוחים מיד ולכסות אותם בחנקן לאחר כל שימוש.

ש: מהו HMDS וכיצד הוא שונה מ-HMDSO?

HMDS (hexamethyldisilazane, CAS 999-97-3) מכיל קישור Si–N–Si והוא מגיב הסיליציה הפעיל. HMDSO (hexamethyldisiloxane, CAS 107-46-0) מכיל קישור Si–O–Si והוא תוצר הלוואי של ההידרוליזה של HMDS - הוא הרבה פחות תגובתי. HMDS משמש כמשנה משטח כימי וכגייב סיליציה; HMDSO משמש בעיקר כנוזל סיליקון שאינו מגיב וחומר גלם לסינתזה של HMDS. אין לבלבל בין השניים בעת ציון חומרים לליטוגרפיה או לתהליכים פרמצבטיים.

ש: אילו אישורים עלי לדרוש מספק HMDS?

ליישומים תעשייתיים: ISO 9001 (ניהול איכות) ו-ISO 14001 (סביבתי). עבור דרגת תרופות: תאימות ל-GMP, יכולת לספק ל-USP/EP-COA מוזכר, ודוחות QC של צד שלישי-. עבור כיתה אלקטרונית: אישור הסמכה של מוליכים למחצה במורד הזרם (למשל, אישורי SMIC, UMC), עמידה בתקני SEMI F47 או תקני חומרים מקבילים, דוח מתכות קורט של ICP-MS מלא לכל אצווה, ואריזות נקיות עם אישור ISO 14644. כל הציונים צריכים לשאת רישומי REACH ו-TSCA עדכניים לייצוא בינלאומי.

ש: מהן החלופות העיקריות ל-HMDS, ומתי מועדף HMDS?

חלופות חומר סיליציה נפוצות כוללות trimethylchlorosilane (TMCS), N-methyl-N-trimethylsilylacetamide (MSA), ו-N,O-bis(trimethylsilyl)acetamide (BSA). HMDS עדיף כאשר נדרשים תנאי תגובה מתונים (ללא HCl למוצר-), כאשר תפוקת סיליציה גבוהה היא קריטית, או כאשר התהליך דורש זיהום מינימלי ממוצרים חומציים או מאכלים על ידי-מוצרים - מה שהופך אותו לבחירה הסטנדרטית לטיפול בפרוסות מוליכים למחצה וסינתזה פרמצבטית. עבור הידרופוביזציה תעשייתית בתפזורת שבה העלות היא המניע העיקרי, TMCS עשוי לשמש כחלופה-ת נמוכה יותר.